邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家
論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對(duì)象,研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同,所適用的測(cè)量方法也不同。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高,在通信波段(1550nm附近)不透明的特點(diǎn),選擇采用白光干涉的測(cè)量方法;而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù),且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應(yīng),因而可借助基于表面等離子體共振的測(cè)量方法;為了進(jìn)一步改善測(cè)量的精度,論文還研究了外差干涉測(cè)量法,通過(guò)引入高精度的相位解調(diào)手段,檢測(cè)P光與S光之間的相位差提升厚度測(cè)量的精度。該技術(shù)可以通過(guò)測(cè)量干涉曲線來(lái)計(jì)算薄膜的厚度。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家
薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),近年來(lái)在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來(lái)越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,尺寸很小,基本上都是微觀可測(cè)量。因此,在微納測(cè)量領(lǐng)域中,薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作。在半導(dǎo)體工業(yè)中,膜厚的測(cè)量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,所以準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)元件制造中的薄膜厚度控制。
薄膜作為改善器件性能的重要途徑,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響,成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問(wèn)題,導(dǎo)致其光學(xué)及物理性能達(dá)不到設(shè)計(jì)要求,嚴(yán)重影響成品的性能及應(yīng)用。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展,準(zhǔn)確測(cè)量和科學(xué)評(píng)價(jià)薄膜特性作為研究熱點(diǎn),也引起產(chǎn)業(yè)界的高度重視。厚度作為關(guān)鍵指標(biāo)直接影響薄膜工作特性,合理監(jiān)控薄膜厚度對(duì)于及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù)、降低加工成本、提高生產(chǎn)效率及企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力等具有重要作用和深遠(yuǎn)意義。然而,對(duì)于市場(chǎng)份額占比大的微米級(jí)工業(yè)薄膜,除要求測(cè)量系統(tǒng)不僅具有百納米級(jí)的測(cè)量精度之外,還要求具備體積小、穩(wěn)定性好的特點(diǎn),以適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的在線檢測(cè)需求。目前光學(xué)薄膜測(cè)厚方法仍無(wú)法兼顧高精度、輕小體積,以及合理的系統(tǒng)成本,而具備納米級(jí)測(cè)量分辨力的商用薄膜測(cè)厚儀器往往價(jià)格昂貴、體積較大,且無(wú)法響應(yīng)工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的在線測(cè)量需求。基于以上分析,本課題提出基于反射光譜原理的高精度工業(yè)薄膜厚度測(cè)量解決方案,研制小型化、低成本的薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),并提出無(wú)需標(biāo)定樣品的高效穩(wěn)定的膜厚計(jì)算算法。研發(fā)的系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)工業(yè)薄膜的厚度測(cè)量。
為了分析白光反射光譜的測(cè)量范圍,開展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測(cè)量實(shí)驗(yàn)。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測(cè)量曲線,如圖所示,對(duì)于殼層厚度30μm的靶丸,其白光反射光譜各譜峰非常密集、干涉級(jí)次數(shù)值大;此外,由于靶丸殼層的吸收,壁厚較大的靶丸信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)較弱。隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步增加,其白光反射光譜各譜峰將更加密集,難以實(shí)現(xiàn)對(duì)各干涉譜峰波長(zhǎng)的測(cè)量。為實(shí)現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測(cè)量,需采用紅外的寬譜光源和光譜探測(cè)器。對(duì)于殼層厚度為μm的靶丸,測(cè)量的波峰相對(duì)較少,容易實(shí)現(xiàn)靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長(zhǎng)的準(zhǔn)確測(cè)量;隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步減小,兩干涉信號(hào)之間的光程差差異非常小,以至于他們的光譜信號(hào)中只有一個(gè)干涉波峰,基于峰值探測(cè)的白光反射光譜方法難以實(shí)現(xiàn)其厚度的測(cè)量;為實(shí)現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測(cè)量,可采用紫外的寬譜光源和光譜探測(cè)器提升其探測(cè)厚度下限。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的薄膜厚度控制。
論文所研究的鍺膜厚度約300nm,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,我們提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值波長(zhǎng)與溫度變化之間具有良好的線性關(guān)系。利用該測(cè)量方案,我們測(cè)得實(shí)驗(yàn)用鍺膜的厚度為338.8nm,實(shí)驗(yàn)誤差主要來(lái)自于溫度控制誤差和光源波長(zhǎng)漂移。論文通過(guò)對(duì)納米級(jí)薄膜厚度的測(cè)量方案研究,實(shí)現(xiàn)了對(duì)鍺膜和金膜的厚度測(cè)量。論文主要的創(chuàng)新點(diǎn)是提出了白光干涉單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案,并將其應(yīng)用于極短光程差的測(cè)量。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)中的薄膜生物學(xué)特性分析。長(zhǎng)沙膜厚儀使用方法
白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)雜薄膜結(jié)構(gòu)的測(cè)量。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家
自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來(lái),人們?cè)诶碚摵蛯?shí)驗(yàn)上展開了討論和研究。結(jié)果表明,動(dòng)態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器,應(yīng)用于光學(xué)信號(hào)處理和加密領(lǐng)域。在論文中,我們提出的基于白光干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案,可以用于當(dāng)光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí)的信號(hào)解調(diào),實(shí)現(xiàn)納米薄膜厚度測(cè)量。在頻域干涉中,當(dāng)干涉光程差超過(guò)光源相干長(zhǎng)度的時(shí)候,仍然可以觀察到干涉條紋。出現(xiàn)這種現(xiàn)象的原因是白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,每一列單色光的相干長(zhǎng)度都是無(wú)限的。當(dāng)我們使用光譜儀來(lái)接收干涉光譜時(shí),由于光譜儀光柵的分光作用,將寬光譜的白光變成了窄帶光譜,從而使相干長(zhǎng)度發(fā)生變化。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家
本文來(lái)自宜興市亞峰石業(yè)有限公司:http://kinglang.cn/Article/42c04399914.html
上海管棚灌漿記錄儀工作原理
漿記錄儀可同時(shí)采集、存儲(chǔ)、顯示和打印至少2個(gè)灌漿管路的灌漿參數(shù)。在各類灌漿方法和不同的灌漿方式中,灌漿全過(guò)程的數(shù)據(jù)應(yīng)記錄在施工報(bào)告和曲線中,智能灌漿記錄平臺(tái)應(yīng)對(duì)灌漿數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和分析,在灌漿施工技術(shù)規(guī) 。
退磁器是一種用于消除磁場(chǎng)效應(yīng)的裝置,常用于磁性存儲(chǔ)介質(zhì)如硬盤驅(qū)動(dòng)器)的消磁。它通過(guò)產(chǎn)生一個(gè)反向磁場(chǎng)來(lái)抵消原有的磁場(chǎng),從而除去存儲(chǔ)在磁性存儲(chǔ)介質(zhì)中的數(shù)據(jù)。退磁器在數(shù)據(jù)安全領(lǐng)域具有重要的作用,可以保護(hù)個(gè)人 。
不銹鋼絲網(wǎng)波紋填料標(biāo)準(zhǔn):不銹鋼絲網(wǎng)波紋填料是當(dāng)前本國(guó)應(yīng)用較或者說(shuō)填料,它們是交由若干種平行DOHC或者說(shuō)金屬波紋網(wǎng)片排列組成或者說(shuō)圓盤狀填料,波紋針對(duì)軸線傾角30度一般而言45傾斜角,相鄰四片波紋四片 。
退磁器在制造業(yè)和電子行業(yè)中有廣泛的應(yīng)用。在制造業(yè)中,退磁器可以用于消除金屬零件中的磁性,從而提高設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。例如,在汽車制造中,退磁器可以用于消除發(fā)動(dòng)機(jī)中的磁性雜質(zhì),以確保發(fā)動(dòng)機(jī)的可靠運(yùn)行。此 。
膜結(jié)構(gòu)車棚:解決城市停車難的更好的方案。隨著城市化的快速發(fā)展,停車難已成為人們關(guān)注的焦點(diǎn)。傳統(tǒng)的停車場(chǎng)已經(jīng)無(wú)法滿足日益增長(zhǎng)的停車需求。然而膜結(jié)構(gòu)車棚作為一種新型的停車設(shè)施,以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),成為解決城市 。
醫(yī)療器械產(chǎn)品設(shè)計(jì)應(yīng)該符合哪些設(shè)計(jì)原則呢?醫(yī)療器械設(shè)計(jì)是醫(yī)療器械產(chǎn)品開發(fā)中非常重要的一環(huán),設(shè)計(jì)好的醫(yī)療器械產(chǎn)品可以更好地保障患者的安全和健康。那么,醫(yī)療器械產(chǎn)品設(shè)計(jì)應(yīng)該符合哪些設(shè)計(jì)原則呢?下面小編簡(jiǎn)單介 。
激光打標(biāo)機(jī)可以借助自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)焦。這種技術(shù)可以通過(guò)傳感器或軟件控制的方式,自動(dòng)調(diào)整鏡頭的位置,以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同高度工件的打標(biāo)。自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)的應(yīng)用可以很大提高打標(biāo)效率和精度,同時(shí)減少操作者的勞動(dòng)強(qiáng) 。
氙燈老化試驗(yàn)箱是一種模擬自然環(huán)境中的陽(yáng)光、雨水和露水等氣候條件的設(shè)備,用于測(cè)試材料和產(chǎn)品的耐候性能。它采用氙燈作為光源,可以模擬不同波長(zhǎng)和光強(qiáng)的陽(yáng)光,以及不同的溫度和濕度條件。氙燈老化試驗(yàn)箱由箱體、光 。
此外,我們還會(huì)根據(jù)客戶的需求和喜好,提供定制化的家具安置和物品整理服務(wù),讓客戶在新家中享受到更加舒適和便捷的生活體驗(yàn)。精品搬家服務(wù)的優(yōu)勢(shì)在于其專業(yè)性和精細(xì)化。我們的團(tuán)隊(duì)由經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)搬家人員組成,他 。
LED驅(qū)動(dòng)芯片是LED車燈電子驅(qū)動(dòng)的重要元件之一。LED驅(qū)動(dòng)芯片的前景優(yōu)劣勢(shì)如下:優(yōu)勢(shì):1.高效節(jié)能:LED驅(qū)動(dòng)芯片采用高效的開關(guān)電源技術(shù),能夠?qū)⑤斎腚娫崔D(zhuǎn)換為適合LED的電流和電壓,提高能源利用率, 。
直流充電樁和交流充電樁主要區(qū)分以下幾點(diǎn):充電樁建設(shè)時(shí),按充電方式來(lái)分,充電樁可分為直流充電樁和交流充電樁兩類,交流充電樁功率小,充電速度慢,而直流充電樁功率大,充電速度快,但成本高;直流充電樁功率范圍 。